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阿斯麥(ASML)半導體設備被動式空氣彈簧隔振器介紹

來源:上海松夏減震器有限公司????發(fā)布時間:2023-05-30 11:37

阿斯麥(ASML)半導體設備被動式空氣彈簧隔振器介紹:被動式空氣彈簧隔振器在造紙設備、皮革機械、振動臺、紡織設備、礦山、機械等行業(yè)應用十分廣泛。工業(yè)設備上使用的被動式空氣彈簧隔振器根據(jù)其橡膠體的層數(shù)大致分為單層、雙層、三層橡膠氣囊。
被動式空氣彈簧隔振器工作原理:空氣彈簧工作時,內壁充進壓縮氣體,形成了一個壓縮氣體氣柱。伴隨著振動載荷數(shù)量的增加,彈簧的高度減少,內壁容積減少,彈簧的剛度增多,內壁空氣柱的有效承載面積加大,此時此刻彈簧的載荷力度增多。當振動載荷量減少時,彈簧的高度升高,內壁容積增多,彈簧的剛度減少,內壁空氣柱的有效承載面積減少,此時此刻彈簧的載荷力度減少。如此一來,空氣彈簧在合理的行程內,被動式空氣彈簧隔振器的高度、內壁容積、載荷力度伴隨著振動載荷的遞增與減少發(fā)生了一些平穩(wěn)的柔性傳遞、振動幅度與振動載荷的控制。還可以利用增、減充氣量的方式方法,調節(jié)彈簧的剛度和承載力大小,同時也可以附屬輔助氣室,實現(xiàn)了自動控制調節(jié)。
半導體設備被動式空氣彈簧隔振器介紹
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